Графиты для полупроводниковой промышленности |
 |
|
Применение |
Марка графита |
|
CZ метод для вытягивания Si кристаллов Нагреватели Тигли Нагревательные щиты и другие компоненты |
G330S G458S
G330S, G347S |
|
Лодочки зонной очистки Чувствительные детали для эпитаксии Компоненты для плазмы CVD Другие компоненты для обработки полупроводниковых пластин |
G347, G530, G535 G530S, G535S SiC coated graphite G347S, G530S, G535S
G347S,G530S, G535S |
Примечание:
Код, указанный после марки
графита указывает на различный уровень очистки графита
e.g. G347 (Стандартный уровень зольности)
G347S (содержание
золы 20ppm max)
|
Марка графита |
Плотность, г/см3 |
УЭС, mWм |
Модуль Юнга, кгс/мм2 |
Прочность на изгиб, кгс/см2 |
Твердость по Шору |
КТР, |
Теплопроводность, Вт/мК |
Размеры графитовых блоков, мм |
| G330 |
1.79 |
13.0 |
1000 |
400 |
56 |
4.8 |
104 |
311x622x1245 311x622x2146 D405x730 D460x700 D500x790 D550x675 D610x640 |
|
G347 |
1.85 |
11.0 |
1100 |
500 |
58 |
5.5 |
116 |
234x649x800 311x622x1245 270x1200x1200 D340x920 D380x1060 D460x700 D515x800 D560x680 D610x640 |
|
G348 |
1.92 |
10.0 |
1255 |
650 |
68 |
5.5 |
128 |
165x398x1900 175x690x800 250x390x960 |
|
G530 |
1.82 |
13.0 |
1150 |
630 |
64 |
5.5 |
104 |
217x597x742 235x467x1245 |
|
G535 |
1.82 |
17.0 |
1100 |
650 |
72 |
5.5 |
81 |
230x455x1245 |
|
Предназначение |
ppm |
|
Cтандарт |
300 (обычно) |
|
Очищенный (тип S) |
20 (max) |
|
Сверх-очищенный (тип SS) |
5 (max) |